Совместная научная группа из Китая и США разработала альтернативный подход к созданию полупроводниковых структур, получивший название самотравление. Эта методика призвана решить ключевые проблемы традиционных литографических процессов, которые плохо справляются с обработкой хрупких, но многообещающих материалов, таких как галогенидные перовскиты свинца. Вместо того чтобы наносить рисунок на поверхность материала с помощью внешних агрессивных воздействий — лазеров или химических реактивов, — новый метод позволяет формировать микроструктуры непосредственно внутри кристалла, используя его внутренние свойства.
Принцип работы основан на управлении внутренним механическим напряжением, которое возникает в кристаллической решётке перовскита в процессе её роста. Можно провести аналогию с природным камнем, имеющим естественную линию разлома: если приложить силу в нужном направлении, камень расколется именно по этой линии, а не произвольно. Подобным образом метод самотравления направляет образование контролируемых «трещин» или границ внутри материала, что позволяет создавать заданные рисунки с высокой точностью, не повреждая окружающую структуру.
В ходе экспериментов исследователи смогли с помощью этого метода создать на монокристаллической пластине перовскита своеобразную мозаику из отдельных пиксельных элементов. Каждый такой элемент представляет собой изолированную область, светоизлучающие свойства которой — цвет и яркость — можно независимо и точно настраивать. Полученная структура демонстрирует беспрецедентную степень контроля над организацией материала на микроуровне. Актуальность исследования также связана с вызовами, стоящими перед современной полупроводниковой индустрией.
Китай сообщил о разработке прототипа литографа для производства чипов.
